光片掃描顯微鏡關(guān)于樣品具有一定的要求:
1、樣品要盡可能干燥,含有水分或其他易揮發(fā)物的試樣應(yīng)先烘干除去;若樣品中含有水份,水分揮發(fā)會構(gòu)成倉內(nèi)真空度急劇下降,導(dǎo)致圖畫漂移,有白色條紋,甚至?xí)绊憻艚z壽數(shù);
2、熱穩(wěn)定性好,熱穩(wěn)定性差的樣品往往在電子束的轟擊下分解,釋放氣體和其他物質(zhì),污染光片掃描顯微鏡;
3、導(dǎo)電性好,導(dǎo)電性差的樣品會發(fā)生荷電效應(yīng),構(gòu)成圖畫畸變,亮點亮線,像散等;
4、不含強磁性,強磁性的樣品觀察一般會出現(xiàn)嚴重的像散,無法消去,磁性粉末如果粘的不結(jié)實還可能會吸附到探頭上,損害電鏡。(當然現(xiàn)在很多實驗室都可以做磁性樣品的光片掃描顯微鏡,比如鑠思百檢測可以做磁性樣品的SEM)。
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5、試樣(外表)導(dǎo)電的固體,試樣可以是塊狀或粉未狀。不導(dǎo)電的試樣,要先進行鍍膜處理,在材料外表構(gòu)成一層導(dǎo)電膜。
關(guān)于塊狀導(dǎo)電材料,除了巨細要合適儀器樣品座尺度外,基本上不需要進行什么制備,用導(dǎo)電膠把試樣粘結(jié)在樣品座上,即可放在掃描電鏡中觀察。
關(guān)于塊狀的非導(dǎo)電或?qū)щ娦暂^差的材料,要先進行鍍膜處理,在材料外表構(gòu)成一層導(dǎo)電膜,以避免在電子束照射下發(fā)生電荷積累,影響圖畫質(zhì)量,并可避免試樣的熱損傷。
6、試樣在高真空中能保持穩(wěn)定,
7、外表遭到污染的試樣,要在不破壞試樣外表結(jié)構(gòu)的前提下進行恰當清洗,然后烘干。新斷開的斷口或斷面,一般不需要進行處理,避免破壞斷口或斷面的結(jié)構(gòu)狀態(tài)。
有些試樣的外表、斷口需要進行恰當?shù)母g,才干暴露某些結(jié)構(gòu)細節(jié),則在腐蝕后應(yīng)將外表或斷口清洗潔凈,然后烘干。
8、試樣巨細要合適光片掃描顯微鏡專用樣品座的尺度,不能過大,樣品座尺度各儀器不均相同,一般小的樣品座為的0~35mm,大的樣品座為30~50mm,以分別用來放置不同巨細的試樣,樣品的高度也有一定的約束,一般小于10mm左右。